カールツァイス、薄膜試料の全自動作製に特化した電子顕微鏡「ZEISS Crossbeam 550 Samplefab」を日本市場投入

製品概要

製品名： ZEISS Crossbeam 550 Samplefab
投入日： 発表済み
製品URL： https://www.zeiss.com/microscopy/ja/products/sem-fib-sem/fib-sem/crossbeam-550-samplefab.html
ZEISSテクニカルカンファレンス2025： 2025年6月20日開催
テクニカルカンファレンスURL： https://www.zeiss.co.jp/microscopy/l/events/zeiss2025.html
会社情報： https://www.zeiss.co.jp/microscopy/home.html

ZEISS Crossbeam 550 Samplefabの特長

本製品は、半導体ラボのスループットと効率向上を重視した設計がされており、TEM試料前処理タスクをレシピベースで自動化し、8時間以内に最大10枚のラメラを作製することが可能です。また、自動化率は90％以上であり、バルク試料からTEMグリッドまでの処理をオペレーターの介入なしで行うことが可能であり、ラメラの損失を防ぎ、ラメラ作製成功率ほぼ100％を達成します。さらに、使いやすい制御ソフトウェアにより、初心者から熟練者まで直感的な操作が可能であり、安定性と操作性が向上します。

製品の信頼性と効率性

Gemini 2電子カラムを搭載し、FIBミリング中のSEMによるサンプルライブ観察が可能となっています。FIBカラムの卓越した安定性と自動校正ルーチンは、システムの校正やアライメントを数週間単位でほとんど必要としないため、オペレーターの負担軽減とツールセットアップ時間の削減が可能となります。そして、プローブチップは1本で数十枚のラメラを作成可能であり、30分程度の簡単な再形成作業で繰り返し使用が可能となり、消耗品コストの削減とツールの稼働率を大幅に向上させます。

記事のまとめ

ZEISS Crossbeam 550 Samplefabは、優れたソリューションとして、半導体産業の発展に大きく貢献できると期待されています。カールツァイスは、今後の日本顕微鏡学会第81回学術講演会やZEISSテクニカルカンファレンス2025でも、本製品の詳細を紹介していく予定です。
全く新しいZEISS Crossbeam 550 Samplefabの導入により、カールツァイスは半導体産業における市場のニーズに対応し、高品質な製品提供を行うことで効率と品質の両面からインパクトを提供します。